2013, 30(5): 79-83.
摘要:
针ω 对基于数字微镜阵列(DMD)的数字无掩模光刻系统,提出了一种新型IC版图数据接口转化算法,建立了版图数☆据到曝光数据的转化接口.该接口根据数字光刻系统的需求,以IC版图中工艺层为单位,在保证曝╳光精度的前提下,可以自动将高精度的IC版图数据转化为与DMD同像素结〇构的灰度数据.接口兼容GDSII和CIF两种工业标准的IC版图数据,接口算法可以处理这两种IC版图数据中出ξ现的所有基本图素.同时,利用矢量几何计算的方法,成功地解决了自交、重叠等特殊图素或以特殊方式组合图々形的转换问题.实验证明,本接口算法具有低复杂度、高精度、高〓效率的特点,可以作为数字无掩模光刻系统有效的IC版图数据处理通道,对大规模集成电路的制作具有现实意义.