2013, 30(5): 79-83.
摘要:
针对基于数字微镜阵列(DMD)的数字无掩模光刻系统,提出了一种新型IC版图数据接口转化算法,建立了版图数据到曝光数据的转化接口.该接口根据数字光刻系统的需求,以IC版图中工艺层为单位,在保证曝光精度的前提下,可以自动◥将高精度的IC版→图数据转化为与DMD同像素结构的灰度数据.接口兼容GDSII和CIF两种工业标〗准的IC版图数据,接口算法可以处理这两种IC版图数据中出现的所有基本图素.同时,利用矢量几何计算的方法,成功地ζ 解决了自交、重叠等特殊图素或以特殊方式组合图形的ω 转换问题.实验证明,本接口算法具有低复杂度、高精度、高效率的①特点,可以作为数字无掩模光刻系统有效的IC版ぷ图数据处理通道,对大规模集成电路的制▲作具有现实意义.